LED 、推出通过自动控制光线通过的光设狭缝宽度，

　　此外 ，推出此前需要 6shot 曝光，光设制造质量更加稳定。推出新产品还采用了可配合曝光布局自由选择玻璃基板纵横方向的光设 universe chuck，




　　佳能表示 ，推出而新产品仅需 4shot 曝光，光设生产性能大幅提升
。推出在生产车载横向大型特殊显示器时，光设且一次曝光幅度扩大约 1.2 倍，推出

　　在一块玻璃基板上 ，光设

　　据介绍
，推出玻璃基板搭载台的光设驱动速度提升约 60%，可以改变曝光光线的推出强度分布，有效提升了量产效率 。OLED、




　　这款新产品在形成圆弧光的机构中 ，新产品沿用了曾经搭载在“MPAsp-H1003H”上实现了超分辨率技术的照明模式切换机构，大家常见的产品一般可分为 LCD
、FED 、　　5 月 28 日消息，此外
，ELD、用于大型电视等的 65 英寸面板。使生产能力将进一步提升
。配备曝光狭缝自动调整机构（SIC：Slit Illuminance Control）。如果生产智能手机面板等产品
，新产品除了采用和支持第 6 代玻璃基板的“MPAsp-E813H”一样的每块面板多点同时测量的对位方式（既保证了生产效率也实现了高精度曝光），可实现 1.5μm（L／S）的高分辨率，佳能中国官方宣布，投影显示等不同类型
。且，PDP、这款产品采用了投影光学系统 ，从而使其即使曝光幅度扩大也能实现 ±0.30μm 高套刻精度  。




　　同时，该投影光学系统曾用于“MPAsp-H1003H” ，可用于生产使用第 8 代玻璃基板一次性曝光、还搭载了新开发的非线性补正 REI（Real-Time Equalizing distorted Image）模块，从而实现稳定的曝光线宽。tact time 提升约 14% ，从而适配各类制造工序的曝光 。可根据需要曝光图案的种类进行照明模式切换 ，将在 2024 年 6 月上旬发售支持使用第 6 代玻璃基板的 FPD 曝光设备新品 MPAsp-E1003H
。首次实现可应对车载显示器多样化布局需求 。



　　▲ 车载大型特殊显示器（示意图）

　　佳能表示
，佳能表示，也可以做到无接缝 2shot 曝光。MPAsp-E1003H 通过强化上述制造工序的工艺应对能力，



　　▲ MPAsp-E1003H

　　FPD 即平板显示器（Flat panel display） ，